改造專案

氣、水、電、藥液監控系統

• 台積電八廠 WET SES機台 流量計安裝數值紀錄上傳
• 台積電12廠 CMP機台 流量計安裝數值紀錄
• 聯電 超音波震盪器 電流監控
• 友達 COATER DEV 設備,藥液,氣體.流量.壓力監控紀錄及上傳
• 南茂科技 COATER 溫度 流量 壓力 監 控上傳
• 台豐印刷電路板湖口廠 整機機械表頭更改為數位上傳

Dual Power 不斷電系統

雙插槽設計，支援熱插拔，快速安全與穩定兼具。

實績：

• 台積電八廠 WET SES設備 DC24V供應系統
• UMC WET SES設備 DC24V供應系統
• 旺宏 WET SES設備 DC24V供應系統

PLC停產更新，設備活化

更新硬體PLC並將設定值完整復歸，免除新購設備高昂花費，延續設備壽命。

實績：

• 力晶12吋廠 KOMATSU HOT DI 設備電控系統更新
• 台積八廠 KLA 檢測機 PLC更新

晶圓保護監控裝置

透過雷射sensor或影像辨識等技術監控晶圓於設備內的位置，避免Cassette、Robot 等硬體誤動作造成晶圓破損或製程報廢。

實績：

• 南茂科技濺鍍機 WAFER位置監控
• 南茂科技 曝邊機 ROBOT位置監控
• 台積電 WAFER STAGE 異物刮傷檢測 

破片檢知監控

檢查晶圓或面板等產品表面，提前檢測出不良品。

實績：

• 友達 基板缺角檢測
• 群創 基板異物檢測

PLC程式修改 增加功能

MITSUBISHI OMRON KEYENCE 等PLC功能增加修改。

實績：

• 力晶8吋廠 WET 三菱PLC功能更改及增設UMC WET 設備 OMRON PLC 功能修改及增加
• 【群創光電】CELL製程 三菱PLC程式修改及功能增加
  【例如】 CCD異物檢自動ALARM判別NG 人員手動切換RECIPE改為自動模式

機構設計變更

實績：

• 【住華科技】玻璃基板上升下降載台 , 氣缸改電動滑台

產品數量確認控管

實績：

• 【南茂科技】COATE , SCRUBBER WAFER數量計數監控及記錄

設備異常救貨機制

實績：

• 【 TSMC 8 】設備異常 , 自動排酸補水確保WAFER不因設備當機而報廢
• 【 UMC 】設備異常 , 自動排酸補水確保WAFER不因設備當機而報廢

條碼比對功能

產品，治具，載具　條碼比對　極細微的條碼也可一維、二維、QR都可進行比對及記錄。

實績：

• UMC光罩　BARCODE比對

設備管路改造

PVC管、PFA管、SUS、水氣化管路改造設計。

設備HEATER　EXCHANGE
停產品替代案

點設備老舊，停產品居多,HEATER EXCHANGE原廠價格高昂由敝司所代理的HEATER EXCHANGE來做替代 ,電控及管路均可協助安裝到好。

實績：

• TSMC8 SES DHF HEATER EXCHANGE更換
• 旺宏 1 廠 DNS DHF HEATER EXCHANGE更換
• UMC SES HEATER EXCHANGE更換